财政部关于部分集成电路生产企业进口净化室专用建筑材料等物资税收政策问题的通知(三)
财税[2002]152号颁布时间:2002-09-26
101 Manual Pellicle Mounting 手动防尘保护膜系统配件 84799090
Tool
102 Optical Chemical Processor 光学化学制程机配件(光掩模制程机) 90109090
103 Overlay Metrology System 标记误差量测系统配件(叠对标记差测量仪) 90179000
104 Phase Angle Measurement 相位量测系统配件 90179000
Tool
105 Starlight Inspection System 微尘检验系统配件(脏污检验系统) 90309000
106 Reticle Fine-cleaning System/ 光罩清洗系统配件/湿式光罩清洗仪配件(水 84799090
Wet Bench 洗台)/去光阻清洗系统配件
107 扫描电子测量仪配件 90309000
108产品工程设 MOSAID EFA tester 测试机配件 90309000
备
109 UN Eraser 紫外线光源擦除机配件 85439090
110 Cycling Machine 重复读写测试机配件 90309000
111 Precision Semiconductor Pa- 精密半导体参数分析仪(参数分析仪)配件 90279000
rameter Analyzer
112光刻设备 Ammonia Detector 氨气检测器配件(多种气体分析仪) 90279000
113 Hot Plate 热板烘干机配件 84799090
114 In-Line DUV Scanner 光刻机配件 90109090
115 光刻机用控制器配件 84859000
116 In-Line DUV Track 在线式涂布显影机配件 84799090
117 Mask Optical Microscope 显微镜(包括红外线电子显微镜、电子显微
镜、穿透式电子显微镜、电子扫描显微镜/ 90129000/90119000
非接触测量显微镜)配件
118 光学显微镜配件/激光显微镜/金相显微镜/X
射线显微镜/高倍显微镜/共聚焦显微镜/发射 90119000
显微镜配件
119 立体显微镜配件 90119000
120 Overlay 套刻精度仪配件(量测仪)/套刻精度检测仪配件90309000/90319000
121 Coater 涂布机配件(涂胶机)/涂敷机配件 84799090
122 Developer/PR Reworker 显影机配件 84799090
123 Reworker Dryer before Cure 光刻胶预处理设备配件 84799090
124 紫外线光刻胶硬化机配件 90109090
125 Reticle Charger/Macro Check 光罩检测仪配件(晶片盒开封机) 84799090
Station
126 Starlight Mask Inspection 光罩检测检查系统配件 90319000
System
127 版盒清洗机配件 90330000.90
128 硅片周边曝光装置配件 90330000.90
129 紫外固胶机配件 90330000.90
130 紫外线处理装置配件 90330000.90
131 罩清洗机配件 90330000.90
132 显影液供给系统配件 90330000.90
133 溶剂供给系统配件 90330000.90
134 氦气气瓶柜配件 84799090
135 掩膜板检测仪配件 90331000
136 扫描电镜配件 90119000
137 聚焦离子光束、扫描电子显微镜配件 90330000.90
138 测试工作台配件 90319000
139 硅片分类机/倒片机/超高压化学气相沉积倒片 84799090
机配件
140 外观检查仪配件 90319000
141 背面外观仪配件 90319000
142 质量保证设 SIMS 二次离子质谱仪配件(质谱仪)/电感偶合质 90279000
备 谱仪配件
143 Air Sampler 空气取样器配件(极早期空气采样系统) 90329000
144 GC/MS (Gas Chromatography 气相色谱质谱联用分析仪配件 90279000
145 GFAAS 石墨炉原子吸收光谱仪配件(原子
吸收分光光谱仪) 90279000
146 Ion Chromatography 离子色谱仪配件 90279000
147 KF Titrator 水分滴定仪配件(水分仪) 90319000
148 Microwave Concentrator 微波浓缩装置配件 90309000
149 Auto Titrator 自动电位滴定仪配件(自动滴定仪) 90319000
150 Viscometer 粘度计配件(粘度测量仪) 9031900
151 Hot Plate 搅拌器配件 84749000
152 加热器配件 85169090
153可靠性保证 Auto-Decapsulation Machine 自动开封机配件(晶片盒开封机) 84799090
设备
154 FIB 聚焦离子束设备配件 85439030
155 Io Milling 离子减薄机配件 84799090
156 Micro Cleaving 裂片机配件 84799090
157 Microsection/Polisher 抛光机配件(化学机械抛光设备) 84859000/84669100
158 Precision Saw 精密切割仪/激光切割机配件(低速切割机) 84859000/84669300
159 Reflow 回流焊设备配件 84689000
160 sample Preparation-CO2 System 二氧化碳气泡机配件 84799090
161 Sample Preparation-Dicing Saw 划片机配件 84799090/84779000/84649100
162 Sample Preparation-Die Bonder 上片机配件(粒子上片机) 84799090
163 Sample Preparation -Wafer 粘片机配件 84799090
Mounter
164 Sample Preparation-Wire Bonder 焊线机配件 85159000
165 X-ray X射线分析仪配件(x射线晶片分析仪) 90309000
166 Failure Analysis Instrument 故障分析仪配件 90309000
167 Failure Analysis Sample 失效分析样品制备系统配件 90319000
Preparation
168 EL Grade Clean Plastic Bottle 超洁净塑料瓶 39269010
(PE/PP/PTFE)
169 Sterilized Sampling Tube 无菌采样管 39172900
170 Volumetric Flask (PE/PP/ 超洁净塑料凉瓶 39269010
PFA/PMP)
171 Micropipette 微量移液管 39269010
172 DIW Sample Bag 无菌取样袋 39239000
173 Plastic Syringe 无菌塑料针管 39173900
174 分析装置配件 90319000
175 去离子水系统配件 84219990
176 中央控制系统配件 84733090.90
177 蒸汽回流机配件 85439090
178 红外线回流系统配件 90319000
179 塑模开封机配件 84669100
180 化学腐蚀装置配件 84669300
18l 超声波清洗系统配件 84669300
182 超声波图机配件 90319000
183 热载流子分析仪配件 90319000
184 曲线跟踪仪配件 90319000
185 POD/Cassette Inspection 晶盒检测仪配件 90309000
186 TXRF X射线荧光光谱仪配件 90279000
187 W.S. Wafer Scrubber-Non Metal 晶片去离子水喷射刷洗设备配件 84249090
188 Wafer Marker 激光晶圆刻片机配件(激光刻号机) 84799090
189 Wafer RS& THK/Flat 晶圆片厚度/平整度测量仪配件(表面凸凹检 90309000
测仪)
190 ALU 石英舟自动装载设备配件(晶片盒开封机) 84799090
191研发设备 Dynamic Signal Analyzer 动态信号分析仪配件(噪声计) 90309000
192 超声波扫描仪配件 90319000
193 温湿度箱/压力锅配件 85439090
194 高加速应力实验箱配件 90309000
195 逻辑分析仪配件 90279000
196 晶体管曲线仪配件 85439090
197 静电模拟测试机配件 90309000
198 LCR Meter 电感电阻电容测试仪配件 90309000
199 Pulse Generator 专用脉冲发生器配件 85439029
200 Semiconductor Parameter 半导体参数分析设备配件(参数分析仪) 90279000/85439090
Analyzermanual
201 Semiconductor Parametric 半导体参数测试设备(仪)配件 90309000
Tester
202 Switch Matrix 信号自动转接器配件 85191090
203 RF Noise Figure Instrument 高频噪声系数分析仪配件 90319000
204 ICCAP RF Measurement System 高频测试系统配件 90319000
205 Curve Tracer 信号轨迹追踪器配件 90319000
206 ESD TLP System 静电放电测试系统配件 90309000
207 图像处理器配件 84719000
208 绘图机配件 90330000.90
209 热波测试仪配件 90279090
210 高低温分析仪配件 90319000
211 微探针台配件 90319000
212 电子束探针/热探针仪/自动多探针配件 90319000
213 验证测试系统配件 90319000
214测试设备 Laser Repair 激光修复仪配件 90319000
215 Logic Tester 元件电参数测试设备配件 90319000
216 Prober Card Check 探针卡检测仪配件(探针测试仪) 90309000
217 Prober 探针台(手动、半自动、自动、微探针台) 84799090/90319000
配件
218 探针卡
219 Wafer Bake Oven Fittings 烤箱(包括晶元烤箱、动态老化晶元烤箱、 85149090/84199090
银浆固化烤箱、高温烘烤箱、烤炉)配件
220 Logic Tester Fittings 逻辑测试机配件 90319000
221 Memory Tester Fittings 记忆体测试机配件 90319000
222 Wafer Loader 晶圆装载机配件 84799090
223 Tester Equipment PC Tool 测试设备电脑工具配件 84719000
Fittings
224 Probe Card Making Equipment 探针卡制作设备配件 84799090
Fittings
225 Ultra Sonic Container Fittings 超音波震荡器配件 90319000
226 Tester Electronic Meter 测试仪计量设备配件 90309000
Fittings
227 Mother-Plate Fitting for Tester 测试仪专用工夹具及配件 90319000
228 Microscope Guard Against 显微镜防震工作台配件 90119000
Earthquakes Fittings
229 Thermometer & Humidometer 温湿度测试仪配件 90259000
Fittings
230 与机台相配套的高清晰度专用激光打印机配件 84859000
231 Logic Analyzer Fitting 逻辑分析仪配件 90279000
232 Precise Oscillator Fittings 精密示波器配件(示波器) 90309000
233 wafer Burn-in Tester Fittings 炙烧测试机配件 84799090
234 Dynamic Wafer Burn-in Bake 动态老化晶圆烤箱配件 84199090
Oven Fittings
235 Mixed Signal Tester Fittings 混合型测试机配件 90319000
236 数字测试系统配件 90319000
237 混合信号测试系统配件 90319000
238 密封机配件 84779000
239 外观检查仪配件 90319000
240 切片机配件 84669100
241 粉尘收集器配件 84213990.90
242 尘埃测定器配件 90319000
243 热电子分析仪配件 90319000
244湿法刻蚀设 W.S. Cleaner 湿法清洗设备配件 84799090
备
245 晶片再生处理机配件 84569990.90
246 Wafer Transfer/ Transfer, 晶片传送器配件(晶片传送机) 84859000
Horizontal, Wafer, Automatic
247 超声清洗机/酸清洗机/超声清洗机/片盒清洗
干燥机/剥膜清洗机伯动腐蚀清洗机/片架清 84669300
洗机配件
248 氧化膜腐蚀配件 84669300
249 氮化硅腐蚀配件 84669300
250 磷玻璃层去除设备配件 84669300
251 化学机械抛光清洗机配件 84669100
252 浆料供给装置配件 84669300
253 光刻胶剥离配件 84669300
254 减薄机配件 84669100
255 化学机械研磨用纯水加压装置配件 84669100
256 半球形玻璃(HSG)前处理装置配件 84669300
257 寿命测试仪配件 90319000
258 片架检查仪配件 90319000
259 淀积物去除装置配件 84669100
260 栅氧化前处理配件 84669300
261 荧光X射线分析装置配件 90319000
262 化学机械研磨用残膜测定仪配件 90319000
263 前处理装置配件 84669300
264搬送 工程间搬送设备配件 84859000
265 工程间有轨/无轨搬送设备配件 84859000
266 掩模版库配件 90330000.90
267 机器人配件 84799090
268 精选机配件 90319000
269封装 贴片机配件 84779000
270后工序封装 等离子清洗机配件 84799090
设备
27l 晶片粘贴机配件 84799090
272 金线拉力检测机配件 90309000
273 自动生产线线体配件 84799090
274 二氧化碳充气机配件 84799090
275 印字机配件 84439000
276 切筋成型机配件 84669400
277 X光机配件 90229090
278 植球机配件 84779000
279 清洗机配件 84799090
280 推球测试机配件 90309000
281 内脚焊接配件 84689000
282 封胶机配件 84779000
283 抓料机配件 84799090
284 电镀机配件 84799090
285后工序测试 自动分检机配件 84799090
设备
286 卷带包装机配件 84799090
287 老化板测试机配件 90309000
288 自动上下料分检机配件 84799090
289 紫外线擦除机配件 85439090
290 电源及其配件 85049020
291实验分析校 温湿度箱/压力锅配件 85439090
准设备
292 高加速应力实验箱配件 90309000
293 回流焊机配件 84799090
294 温度循环测试机配件 90309000
295 纯水加压机配件 84779000
296 装片机配件 84779000
297 键合机配件 84779000
298 键合检查仪配件 90319000
299 塑封压机/塑封机配件 84779000
300 塑封模配件 84779000
301 切筋打弯机配件 84779000
302 存储器测试系统配件 90319000
303 分选机配件 84779000
304 管脚检查系统配件 84779000
305 插拔机配件 84799090
306 老化测试板检查仪配件 90319000
307 托盘处理机配件 84779000
308生产管理自 主系统服务器配件 84733090.90
动控制系统
309 生产管理系统配件 84733090.90
310 管理系统服务器配件 84733090.90
311 自动装载系统配件 84733090.90
312 生产控制系统1VW配件 84733090.90
313 后道生产控制系统服务器配件 84733090.90
314 抄送邮件服务器配件 84733090.90
315 网络设备(FA,0A)配件 84733090.90
316 网络测试系统配件 84733090.90
317芯片出货检 Wafer Vacuum Packing Machine 各类芯片专用真空包装机配件/真空包装机配件 84229090/84779000/84799090
测设备
318 OM digital Printer 显微镜数码打印机配件 84859000
319 OM 3CCD RGB Camera (带三电荷耦合装置)显微镜数码相机配件 90069199
320 Bar Code Printer 工业用条形码打印机配件 84859000
321 VLST Standard Wafer 各类校准用标准晶片配件 90319000
322 TRH Meter, Anemometer, 各类温湿度风速压力颗粒测量仪及其记录器配件 90269000
TRH Recorder
323 Lockreel 塑料带轮配件 39269090
324 Tip, Wand, Vaccum 硅片(晶片)吸附头 39269010
325 Vaccum Pick-Up Pencil With 真空吸笔及吸头 40161010
Head
326 Cabiliary 瓷嘴配件 69149000
327 Diamond Cut-off Wheel 切割轮(金刚砂)配件 68042100
328 Diamond Blade 切割刀配件 82089000
329 Reject Pin 顶起针配件 73199000
330 Magazine/Frme 弹匣/芯片承载环配件 73261910
331 Tweezer, Wafe 晶片镊 82032000/73269010
332 Print Cartridge 喷塑匣配件 84719000
333 HPC Sampler Red 25/PK 去离子水细菌测量抽样仪配件 90318090
334电学计量校 Digital Multimeter calibrator 数字多用表校准标准器配件 90319000
准检定设备 Parts
335 Precision Oscilloscope Cali- 示波器精密校准器配件 90309000
brator Parts
336 AC/DC Voltage and Current 交直流电压、电流标准装置配件 90309000
Calibrator Parts
337 Resistance Standard Calibrator 电组标准检定装置配件 85389000
Parts
338 Multiple Channel Power Calibr- 多功能标准源装置配件 85049090
ator Parts
339 Sgnal Generator Calibrator Parts 信号发生器检定装置配件 90319000
340力学计量校 Pressure Gauge Calibrator Parts 压力表检定装置配件 90269000
准检定设备
341 Liquid/Gas Flow Meter Cali- 流量计标准装置配件 90269000
brator Parts
342 Velocity Meter Calibrator Parts 转速表检定装置配件 90269000
343热工计量校 Thermocouple Calibrator Parts 热电偶检定标准装置配件 90329000
准检定设备
344 Temperature Calibrator Parts 温度校准器配件 90329000
345 Heater Furnace Calibrator 温度炉标准配件 90329000
Parts
346 Control Equipment & Spare Parts 控制装置配件 84859000
347 ltra-Violet equipment & 紫外线杀菌灯配件 85399000
Spare parts
348纯水,排水
与药品供给 化学品供应系统配件
回收系统
349 化学品混合机配件 84799090
350电气系统 六氟化硫组合电器柜配件 85489000
351 10kV真空断路器配件 85489000
352 电力数据采集监控系统配件 85489000
353 高电压绝缘开关柜/高电压真空开关柜/不间断 85389000
电源用高电压开关柜/高电压开关柜配件
354 高电压主变压器/站用干式变压器/不间断电源 85030090/85049019
用干式变压器/不间断电源用旁路变压器配件
355 电力电容成套装置配件 85389000
356 综合保护装置配件 85389000
357 高电压电压监视系统配件 85389000
358 ATS电源转换装置配件 85049019
359 发电机并车装置配件 85030090
360 中央监控站设备配件 85389000
361 冷冻机组配件 84189999
362 高效风车过滤单元配件 84219990
363 高效率过滤器配件 84219990
364 静电消除装置配件 90329000
365 温湿度监控系统配件 85319090
366 真空扫除机配件 84219990
367气体系统 气体品质监控系统配件 85319090
368 气瓶柜输送系统配件 84313900
369 气体纯化器系统配件/气体纯化装置配件 84219990
370 气体溅楼漏侦测系统配件 85319090
371化学品过滤
及供应系统 控制装置配件 84733090
372 管道阀及其配件 84819010
373 过滤器滤芯及其配件 84219990
374 化学品储存桶槽及其配件 39269010
375 化学品成分及浓度测量装置及其配件 90289090
376 重量测量装置及其配件 84239000
(3)