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财政部关于部分集成电路生产企业进口净化室专用建筑材料等物资税收政策问题的通知(三)

财税[2002]152号颁布时间:2002-09-26

101        Manual Pellicle Mounting     手动防尘保护膜系统配件           84799090          Tool 102        Optical Chemical Processor    光学化学制程机配件(光掩模制程机)      90109090 103        Overlay Metrology System     标记误差量测系统配件(叠对标记差测量仪)   90179000 104        Phase Angle Measurement     相位量测系统配件              90179000          Tool 105        Starlight Inspection System   微尘检验系统配件(脏污检验系统)       90309000 106        Reticle Fine-cleaning System/  光罩清洗系统配件/湿式光罩清洗仪配件(水   84799090          Wet Bench            洗台)/去光阻清洗系统配件 107                        扫描电子测量仪配件             90309000 108产品工程设   MOSAID EFA tester        测试机配件                 90309000   备 109        UN Eraser          紫外线光源擦除机配件            85439090 110        Cycling Machine         重复读写测试机配件             90309000 111        Precision Semiconductor Pa-   精密半导体参数分析仪(参数分析仪)配件    90279000          rameter Analyzer 112光刻设备    Ammonia Detector         氨气检测器配件(多种气体分析仪)       90279000 113        Hot Plate            热板烘干机配件               84799090 114        In-Line DUV Scanner       光刻机配件                 90109090 115                        光刻机用控制器配件             84859000 116        In-Line DUV Track        在线式涂布显影机配件            84799090 117        Mask Optical Microscope     显微镜(包括红外线电子显微镜、电子显微                           镜、穿透式电子显微镜、电子扫描显微镜/   90129000/90119000                           非接触测量显微镜)配件 118                        光学显微镜配件/激光显微镜/金相显微镜/X                           射线显微镜/高倍显微镜/共聚焦显微镜/发射 90119000                           显微镜配件 119                        立体显微镜配件               90119000 120        Overlay             套刻精度仪配件(量测仪)/套刻精度检测仪配件90309000/90319000 121        Coater              涂布机配件(涂胶机)/涂敷机配件       84799090 122        Developer/PR Reworker      显影机配件                 84799090 123        Reworker Dryer before Cure    光刻胶预处理设备配件            84799090 124                        紫外线光刻胶硬化机配件           90109090 125        Reticle Charger/Macro Check   光罩检测仪配件(晶片盒开封机)        84799090          Station 126        Starlight Mask Inspection    光罩检测检查系统配件            90319000          System 127                        版盒清洗机配件               90330000.90 128                        硅片周边曝光装置配件            90330000.90 129                        紫外固胶机配件               90330000.90 130                        紫外线处理装置配件             90330000.90 131                        罩清洗机配件                90330000.90 132                        显影液供给系统配件             90330000.90 133                        溶剂供给系统配件              90330000.90 134                        氦气气瓶柜配件               84799090 135                        掩膜板检测仪配件              90331000 136                        扫描电镜配件                90119000 137                        聚焦离子光束、扫描电子显微镜配件      90330000.90 138                        测试工作台配件               90319000 139                        硅片分类机/倒片机/超高压化学气相沉积倒片 84799090                           机配件   140                        外观检查仪配件               90319000 141                        背面外观仪配件               90319000 142 质量保证设  SIMS               二次离子质谱仪配件(质谱仪)/电感偶合质   90279000   备                       谱仪配件  143        Air Sampler           空气取样器配件(极早期空气采样系统)     90329000 144        GC/MS (Gas Chromatography    气相色谱质谱联用分析仪配件         90279000 145        GFAAS              石墨炉原子吸收光谱仪配件(原子                           吸收分光光谱仪)              90279000 146        Ion Chromatography        离子色谱仪配件               90279000 147        KF Titrator           水分滴定仪配件(水分仪)           90319000 148        Microwave Concentrator      微波浓缩装置配件              90309000 149        Auto Titrator          自动电位滴定仪配件(自动滴定仪)       90319000 150        Viscometer            粘度计配件(粘度测量仪)           9031900 151        Hot Plate            搅拌器配件                 84749000 152                        加热器配件                 85169090 153可靠性保证   Auto-Decapsulation Machine    自动开封机配件(晶片盒开封机)        84799090   设备 154        FIB               聚焦离子束设备配件             85439030 155        Io Milling            离子减薄机配件               84799090 156        Micro Cleaving          裂片机配件                 84799090 157        Microsection/Polisher      抛光机配件(化学机械抛光设备)        84859000/84669100 158        Precision Saw          精密切割仪/激光切割机配件(低速切割机)   84859000/84669300 159        Reflow              回流焊设备配件               84689000 160        sample Preparation-CO2 System  二氧化碳气泡机配件             84799090 161        Sample Preparation-Dicing Saw  划片机配件                 84799090/84779000/84649100 162        Sample Preparation-Die Bonder  上片机配件(粒子上片机)           84799090 163        Sample Preparation -Wafer    粘片机配件                 84799090          Mounter 164        Sample Preparation-Wire Bonder  焊线机配件                 85159000 165        X-ray              X射线分析仪配件(x射线晶片分析仪)      90309000 166        Failure Analysis Instrument   故障分析仪配件               90309000 167        Failure Analysis Sample     失效分析样品制备系统配件          90319000          Preparation 168        EL Grade Clean Plastic Bottle  超洁净塑料瓶                39269010          (PE/PP/PTFE) 169        Sterilized Sampling Tube     无菌采样管                 39172900 170        Volumetric Flask (PE/PP/     超洁净塑料凉瓶               39269010          PFA/PMP) 171        Micropipette           微量移液管                 39269010 172        DIW Sample Bag          无菌取样袋                 39239000 173        Plastic Syringe         无菌塑料针管                39173900 174                        分析装置配件                90319000 175                        去离子水系统配件              84219990 176                        中央控制系统配件              84733090.90 177                        蒸汽回流机配件               85439090 178                        红外线回流系统配件             90319000 179                        塑模开封机配件               84669100 180                        化学腐蚀装置配件              84669300 18l                        超声波清洗系统配件             84669300 182                        超声波图机配件               90319000 183                        热载流子分析仪配件             90319000 184                        曲线跟踪仪配件               90319000 185        POD/Cassette Inspection     晶盒检测仪配件               90309000 186        TXRF               X射线荧光光谱仪配件             90279000 187        W.S. Wafer Scrubber-Non Metal  晶片去离子水喷射刷洗设备配件        84249090 188        Wafer Marker           激光晶圆刻片机配件(激光刻号机)       84799090 189        Wafer RS& THK/Flat        晶圆片厚度/平整度测量仪配件(表面凸凹检   90309000                           测仪) 190        ALU               石英舟自动装载设备配件(晶片盒开封机)    84799090 191研发设备    Dynamic Signal Analyzer      动态信号分析仪配件(噪声计)         90309000 192                        超声波扫描仪配件              90319000 193                        温湿度箱/压力锅配件            85439090 194                        高加速应力实验箱配件            90309000 195                        逻辑分析仪配件               90279000 196                        晶体管曲线仪配件              85439090 197                        静电模拟测试机配件             90309000 198        LCR Meter            电感电阻电容测试仪配件           90309000 199        Pulse Generator         专用脉冲发生器配件             85439029 200        Semiconductor Parameter     半导体参数分析设备配件(参数分析仪)     90279000/85439090          Analyzermanual   201        Semiconductor Parametric     半导体参数测试设备(仪)配件         90309000          Tester   202        Switch Matrix          信号自动转接器配件             85191090 203        RF Noise Figure Instrument    高频噪声系数分析仪配件           90319000 204        ICCAP RF Measurement System   高频测试系统配件              90319000 205        Curve Tracer           信号轨迹追踪器配件             90319000 206        ESD TLP System          静电放电测试系统配件            90309000 207                        图像处理器配件               84719000 208                        绘图机配件                 90330000.90 209                        热波测试仪配件               90279090 210                        高低温分析仪配件              90319000 211                        微探针台配件                90319000 212                        电子束探针/热探针仪/自动多探针配件    90319000 213                        验证测试系统配件              90319000 214测试设备    Laser Repair           激光修复仪配件               90319000 215        Logic Tester           元件电参数测试设备配件           90319000 216        Prober Card Check        探针卡检测仪配件(探针测试仪)        90309000 217        Prober              探针台(手动、半自动、自动、微探针台)    84799090/90319000                           配件 218                        探针卡 219        Wafer Bake Oven Fittings     烤箱(包括晶元烤箱、动态老化晶元烤箱、    85149090/84199090                           银浆固化烤箱、高温烘烤箱、烤炉)配件  220        Logic Tester Fittings      逻辑测试机配件               90319000 221        Memory Tester Fittings      记忆体测试机配件              90319000 222        Wafer Loader           晶圆装载机配件               84799090 223        Tester Equipment PC Tool     测试设备电脑工具配件            84719000          Fittings 224        Probe Card Making Equipment   探针卡制作设备配件             84799090          Fittings   225        Ultra Sonic Container Fittings  超音波震荡器配件              90319000 226        Tester Electronic Meter     测试仪计量设备配件             90309000          Fittings   227        Mother-Plate Fitting for Tester 测试仪专用工夹具及配件           90319000 228        Microscope Guard Against     显微镜防震工作台配件            90119000          Earthquakes Fittings   229        Thermometer & Humidometer    温湿度测试仪配件              90259000          Fittings   230                        与机台相配套的高清晰度专用激光打印机配件  84859000 231        Logic Analyzer Fitting      逻辑分析仪配件               90279000 232        Precise Oscillator Fittings   精密示波器配件(示波器)           90309000 233        wafer Burn-in Tester Fittings  炙烧测试机配件               84799090 234        Dynamic Wafer Burn-in Bake    动态老化晶圆烤箱配件            84199090          Oven Fittings   235        Mixed Signal Tester Fittings   混合型测试机配件              90319000 236                        数字测试系统配件              90319000 237                        混合信号测试系统配件            90319000 238                        密封机配件                 84779000 239                        外观检查仪配件               90319000 240                        切片机配件                 84669100 241                        粉尘收集器配件               84213990.90 242                        尘埃测定器配件               90319000 243                        热电子分析仪配件              90319000 244湿法刻蚀设  W.S. Cleaner           湿法清洗设备配件              84799090   备 245                        晶片再生处理机配件             84569990.90 246       Wafer Transfer/ Transfer,     晶片传送器配件(晶片传送机)         84859000          Horizontal, Wafer, Automatic    247                        超声清洗机/酸清洗机/超声清洗机/片盒清洗                           干燥机/剥膜清洗机伯动腐蚀清洗机/片架清  84669300                           洗机配件 248                        氧化膜腐蚀配件               84669300 249                        氮化硅腐蚀配件               84669300 250                        磷玻璃层去除设备配件            84669300 251                        化学机械抛光清洗机配件           84669100 252                        浆料供给装置配件              84669300 253                        光刻胶剥离配件               84669300 254                        减薄机配件                 84669100 255                        化学机械研磨用纯水加压装置配件       84669100 256                        半球形玻璃(HSG)前处理装置配件        84669300 257                        寿命测试仪配件               90319000 258                        片架检查仪配件               90319000 259                        淀积物去除装置配件             84669100 260                        栅氧化前处理配件              84669300 261                        荧光X射线分析装置配件            90319000 262                        化学机械研磨用残膜测定仪配件        90319000 263                        前处理装置配件               84669300 264搬送                      工程间搬送设备配件             84859000 265                        工程间有轨/无轨搬送设备配件        84859000 266                        掩模版库配件                90330000.90 267                        机器人配件                 84799090 268                        精选机配件                 90319000 269封装                      贴片机配件                 84779000 270后工序封装                   等离子清洗机配件              84799090   设备 27l                        晶片粘贴机配件               84799090 272                        金线拉力检测机配件             90309000 273                        自动生产线线体配件             84799090 274                        二氧化碳充气机配件             84799090 275                        印字机配件                 84439000 276                        切筋成型机配件               84669400 277                        X光机配件                  90229090 278                        植球机配件                 84779000 279                        清洗机配件                 84799090 280                        推球测试机配件               90309000 281                        内脚焊接配件                84689000 282                        封胶机配件                 84779000 283                        抓料机配件                 84799090 284                        电镀机配件                 84799090 285后工序测试                   自动分检机配件               84799090   设备 286                        卷带包装机配件               84799090 287                        老化板测试机配件              90309000 288                        自动上下料分检机配件            84799090 289                        紫外线擦除机配件              85439090 290                        电源及其配件                85049020 291实验分析校                   温湿度箱/压力锅配件            85439090   准设备 292                        高加速应力实验箱配件            90309000 293                        回流焊机配件                84799090 294                        温度循环测试机配件             90309000 295                        纯水加压机配件               84779000 296                        装片机配件                 84779000 297                        键合机配件                 84779000 298                        键合检查仪配件               90319000 299                        塑封压机/塑封机配件            84779000 300                        塑封模配件                 84779000 301                        切筋打弯机配件               84779000 302                        存储器测试系统配件             90319000 303                        分选机配件                 84779000 304                        管脚检查系统配件              84779000 305                        插拔机配件                 84799090 306                        老化测试板检查仪配件            90319000 307                        托盘处理机配件               84779000 308生产管理自                   主系统服务器配件              84733090.90   动控制系统   309                        生产管理系统配件              84733090.90 310                        管理系统服务器配件             84733090.90 311                        自动装载系统配件              84733090.90 312                        生产控制系统1VW配件             84733090.90 313                        后道生产控制系统服务器配件         84733090.90 314                        抄送邮件服务器配件             84733090.90 315                        网络设备(FA,0A)配件            84733090.90 316                        网络测试系统配件              84733090.90 317芯片出货检   Wafer Vacuum Packing Machine   各类芯片专用真空包装机配件/真空包装机配件  84229090/84779000/84799090   测设备 318        OM digital Printer        显微镜数码打印机配件            84859000 319        OM 3CCD RGB Camera        (带三电荷耦合装置)显微镜数码相机配件    90069199 320        Bar Code Printer         工业用条形码打印机配件           84859000 321        VLST Standard Wafer       各类校准用标准晶片配件           90319000 322        TRH Meter, Anemometer,      各类温湿度风速压力颗粒测量仪及其记录器配件 90269000          TRH Recorder 323        Lockreel             塑料带轮配件                39269090 324        Tip, Wand, Vaccum        硅片(晶片)吸附头              39269010 325        Vaccum Pick-Up Pencil With    真空吸笔及吸头               40161010          Head 326        Cabiliary            瓷嘴配件                  69149000 327        Diamond Cut-off Wheel      切割轮(金刚砂)配件             68042100 328        Diamond Blade          切割刀配件                 82089000 329        Reject Pin            顶起针配件                 73199000 330        Magazine/Frme          弹匣/芯片承载环配件            73261910 331        Tweezer, Wafe          晶片镊                   82032000/73269010 332        Print Cartridge         喷塑匣配件                 84719000 333        HPC Sampler Red 25/PK      去离子水细菌测量抽样仪配件         90318090 334电学计量校   Digital Multimeter calibrator  数字多用表校准标准器配件          90319000   准检定设备   Parts 335        Precision Oscilloscope Cali-   示波器精密校准器配件            90309000          brator Parts 336        AC/DC Voltage and Current    交直流电压、电流标准装置配件        90309000          Calibrator Parts 337        Resistance Standard Calibrator  电组标准检定装置配件            85389000          Parts 338        Multiple Channel Power Calibr-  多功能标准源装置配件            85049090          ator Parts 339        Sgnal Generator Calibrator Parts 信号发生器检定装置配件           90319000 340力学计量校   Pressure Gauge Calibrator Parts 压力表检定装置配件             90269000   准检定设备 341        Liquid/Gas Flow Meter Cali-   流量计标准装置配件             90269000          brator Parts 342        Velocity Meter Calibrator Parts 转速表检定装置配件             90269000 343热工计量校   Thermocouple Calibrator Parts  热电偶检定标准装置配件           90329000   准检定设备 344        Temperature Calibrator Parts   温度校准器配件               90329000 345        Heater Furnace Calibrator    温度炉标准配件               90329000          Parts 346        Control Equipment & Spare Parts 控制装置配件                84859000 347        ltra-Violet equipment &     紫外线杀菌灯配件              85399000          Spare parts 348纯水,排水   与药品供给                   化学品供应系统配件   回收系统 349                        化学品混合机配件              84799090 350电气系统                    六氟化硫组合电器柜配件           85489000 351                        10kV真空断路器配件             85489000 352                        电力数据采集监控系统配件          85489000 353                        高电压绝缘开关柜/高电压真空开关柜/不间断 85389000                           电源用高电压开关柜/高电压开关柜配件  354                        高电压主变压器/站用干式变压器/不间断电源  85030090/85049019                           用干式变压器/不间断电源用旁路变压器配件 355                        电力电容成套装置配件            85389000 356                        综合保护装置配件              85389000 357                        高电压电压监视系统配件           85389000 358                        ATS电源转换装置配件             85049019 359                        发电机并车装置配件             85030090 360                        中央监控站设备配件             85389000 361                        冷冻机组配件                84189999 362                        高效风车过滤单元配件            84219990 363                        高效率过滤器配件              84219990 364                        静电消除装置配件              90329000 365                        温湿度监控系统配件             85319090 366   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