211压缩空气系统干燥机　　　　　　　　　　 CDA Dryer　　　　　　　国内无符合技术标准、型号产品 212真空传感器　　　　　　　　　　　　　　 Vacuum Detector　　　　国内无符合技术标准、型号产品 213超洁净化学品供应单元　　　　　　　　　 Supply Unit (N2 Pres-　国内无符合技术标准、型号产品 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　sure & Pumping Type) 214超洁净化学品浓度稀释单元　　　　　　　 Dilution Unit　　　　　国内无符合技术标准、型号产品 215超洁净化学品注入单元　　　　　　　　　 Charge Unit　　　　　　国内无符合技术标准、型号产品 216化学废品收集单元　　　　　　　　　　　 Waste Collection Unit　国内无符合技术标准、型号产品 217气体分配箱及阀件　　　　　　　　　　　 Valve Manifold Box,　　国内无符合技术标准、型号产品 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Valve, Regulator,Fil- 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ter and Pressure Transducer 218气体监控及侦测防护系统(含监视器、　　　Gas Monitoring System　国内无符合技术标准、型号产品 　 光纤、光缆，不含微机和外设) 219特种气体纯化及监测装置(含监视器、　　　Specialty Gas Purifier 国内无符合技术标准、型号产品 　 光纤、光缆) 　　　　　　　　　　　　　and Monitor 220监控系统及可编程控制器(含监视器、　　　Monitoring System　　　国内无生产 光纤、光缆，不含微机和外设) 221纯水枪　　　　　　　　　　　　　　　　 DIW Gun　　　　　　　　国内无符合技术标准、型号产品 222氮气枪　　　　　　　　　　　　　　　　 N2 Gun　　　　　　　　 国内无符合技术标准、型号产品 223化学品防漏膜片特氟龙、316低碳不锈钢　　　　　　　　　　　　　 国内无符合技术标准、型号产品 224加热带(金属材料、特种塑料)　　　　　　 Heater Line/Heater　　 国内没有生产 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Trace　　 225加热外套(金属材料)　　　　　　　　　　 Heat Jacket　　　　　　用于气瓶加热提高蒸发量，不锈钢材料，国内没有生产 226空气呼吸器系统，含有带镜架防毒面具　　 Breath Air System　　　国内没有生产 　 (硅胶材料)，压缩空气气瓶(不锈钢或 　 碳纤材料)，及上述设备连接管及配件 　 (不含微机和外设) 227累计器　　　　　　　　　　　　　　　　 Accumulator　　　　　　国内无符合技术标准、型号产品 228冷凝器　　　　　　　　　　　　　　　　 Cooler　　　　　　　　 国内没有生产 229铝合金电缆槽　　　　　　　　　　　　　 Aluminum Cable Tray　　外表有烤漆，防尘、防静电、防化学品腐蚀、防产生 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 微粒，国内无符合技术标准、型号产品 230末端阀箱　　　　　　　　　　　　　　　 End Box　　　　　　　　国内产品目前无验证资料 231火焰警报器，压力表及废气排放管(不　　　Gas Cabinet　　　　　　国内没有生产 　 锈钢内涂树脂)，消防水管(不锈钢)， 　 仪表控制用气体连接管(不锈钢或特氟 　 龙管)等 232气体分配箱　内含不锈钢外壳和支架，　　　　　　　　　　　　　　国内没有生产 　 气体输送分配盘及废气排放管(不锈钢 　 内涂树脂)，仪表控制用气体连接管(不 　 锈钢或特氟龙管)等 233钢瓶紧急泄露处理车　　　　　　　　　　 Emergency Response　　 国内没有生产 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Containment Vessels　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　for Leaking Cylinders　　　　 234氧化，金属及铜工艺研磨液供应系统　　　 Oxide, Cu Process &　　国内无符合技术标淮、型号产品　 　 (不含微机和外设)　　　　　　　　　　　 Metal Dilution & Suply 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Unit 235化学门感应器　　　　　　　　　　　　　 Door Sensor　　　　　　国内无符合技术标准、型号产品 236紫外线感应器　　　　　　　　　　　　　 UV Sensor　　　　　　　国内无符合技术标准、型号产品 237泄漏测量器　　　　　　　　　　　　　　 Leak Detector　　　　　国内无符合技术标准、型号产品 238随身携带呼吸器件(SCBA空压机)　　　　　　　　　　　　　　　　　一种空气系统，国内无符合技术标准、型号产品 239超级过滤膜及外壳(高洁净高强度工程　　　　　　　　　　　　　　 国内无符合技术标准、型号产品 　 塑料、超洁净不锈钢) 240超级过滤器及外壳(高洁净度、高强度　　　　　　　　　　　　　　 国内无符合技术标准、型号产品 　 工程塑料) 241不锈钢管及连接件、抗压力指数大于等　　　　　　　　　　　　　　国内无符合技术标准、型号产品 　 于4公斤的钢管、膨胀节 242化学品过滤系统用零配件　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　国内无符合技术标准、型号产品 243机械轴封(配件)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　国内无符合技术标准、型号产品 244随身携带呼吸器件(SCBA空压机)备用　　　 Back-Up Gas Cylinder　　 　气瓶　　　　　　　　　　　　　　　　　　of SCBA　　　　　　　　由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气 245化学品泄漏处理对象、器材及防护衣　　　 Chemical Leakage Spe-　处理化学品泄漏时防护及处理器材 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　cial Material　　 246可燃／毒性物防爆箱　　　　　　　　　　 Chemical Temporary　　 储存腐蚀性及易燃液体 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Storage　　 247自动灭火喷淋系统（不含微机和外设）　　 Sprinkler System　　　 净化室消防灭火用，需FM认证 248消防(火灾)防护防害器材及防护衣物　　　 Fire Fighting Protec-　消防灭火的防护衣服手套等 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　tion Material　　 249全套自供式呼吸器(含碳纤气瓶)　　　　　 Self Container Breat-　由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ing Aparatus(SCBA)　　 250磁簧感应器、红外线对照式侦测器、主　　 Access System　　　　　在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人 　 机及控制器、路由器等　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　员出入 251磁力锁　　　　　　　　　　　　　　　　 Electric Lock　　　　　在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 员出入 252寻址式火警控制盘、相应模块　　　　　　 Addressable Fire　　　 火灾侦测报警用，国内无符合技术标准、型号产品 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Alarm Control Panel 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　& Module　　 253无尘室用二氧化碳灭火器　　　　　　　　 CO2 Fire Extinguisher　消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品 254二氧化碳系统(含钢瓶，喷头，烟感器，　　CO2 System 　 控制盘，不含微机和外设)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品 255防爆型摄像头、高分辨率摄像头　　　　　 CCTV System　　　　　　监视无尘室等运行状态，通过闭路监视系统来预防及 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 处理发生相关事件 256防火／防烟风门　　　　　　　　　　　　 Fire Stop, Fire/Smoke　消防系统用，国内无符合技术标准、型号产品 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Damper　　 257感应读卡机　　　　　　　　　　　　　　 Proximity Card Reader　在事故发生时通过门禁系统来掌握及控制无尘室等人 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 员出入 258高压气瓶泄漏处理设备储备器材　　　　　 Coupressed Cylinder　　国内无符合技术标准、型号产品 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Leakage Treat Equipment　　 259画面处理单元　　　　　　　　　　　　　 Drawing Handle Unit　　监视无尘室等运行状态，作画面处理(如分隔和警 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 报)，通过闭路监视系统来预防及处理发生相关事件 260环境安全管理监视系统[含影像接收，　　　Monitoring System　　　国内无符合技术标准、型号产品 　 处理，记录系统、监控器、光纤、光缆，　 (including Video 　 （不含微机和外设）]　　　　　　　　　　Receiving ,Processing,　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Recording System) 261回路控制单元　　　　　　　　　　　　　 Loop Control Unit　　　监视无尘室等运行状态，通过闭路监视系统来预防及 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 处理发生相关事件 262回路控制器　　　　　　　　　　　　　　 Loops Controller　　　 火警广播用，国内无符合技术标准、型号产品 263火警报警，(广播)系统(感应，灭火逃　　　Fire Alarm, Public　　 火灾侦测报警用，需FM认证 　 生警报单元，控制单元，不含微机和外　　 Address System (De- 　 设)　　　　　　　　　　　　　　　　　　tection, Alarm Unit) 264火警矩阵主机(连动门禁、电梯、排烟　　　Fire System Materix　　火灾侦测报警用，国内无符合技术标准、型号产品 　 及广播系统)　　　　　　　　　　　　　　Link 265极早期火警警报系统(不含微机和外设)　　 Very Early Smoke De-　 洁净车间火灾侦测报警用，需FM认证 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　tection System 266紧急广播主控器、相应模块及附件　　　　 Emergency P.A. Main　　火警广播用，国内无符合技术标准、型号产品 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Controller & Module 267紧急洗眼及冲淋器具　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　国内无符合技术标准、型号产品 268警报　输入／输出(I／O)界面(用于门禁　　Alarm I/O Interface　　一种组态软件，在事故发生时通过门禁系统来掌握及 　 系统)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 控制无尘室等人员出入 269空气采样管(特种塑钢)　　　　　　　　　 Air Sampling Piping　　ABS(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯三元共聚物)塑钢本 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中 270空气采样系统主机、相应模块及附件　　　 Air Sampling Smoke　　 本身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Detector, Main Machine　　 271门禁管理系统(不含微机和外设)　　　　　 Access Control Alarm　 有专用通讯协议，可接多个接口模块，且可管理数万 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　System (Accessory)　　 个持卡者，国内无符合技术标准、型号产品 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　(Control Unit)　　 272泡沫灭火系统(含泡沫桶，控制盘，不　　　Foam Extinguish Sys-　 　 含微机和外设)　　　　　　　　　　　　　tem　　　　　　　　　　消防灭火用，国内无符合技术标准、型号产品 273网络接口组件、图控压缩软件(用于火　　　Network Interface　　　火灾探测报警用／火警广播用，国内无符合技术标准、 　 灾探测报警用／火警广播)　　　　　　　　Unit, Graphic Com-　　 型号产品 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　press Software　　 274网络界面设备及附件　　　　　　　　　　 Network Interface Unit 本身不产生尘粒和化学物质用于净化厂房中 275视觉信号装置零备件　　　　　　　　　　 System Accessories　　 火灾探测报警用，国内无符合技术标准、型号产品 276消防组配件(洒水头，泡沫头，压扣开　　　Fir Protection System　消防系统，国内无符合技术标准、型号产品 　 关，蜂鸣器，阀，扳手，防震支撑…)　　　Accessories (Sprinkler 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Head, Foam Head, 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Emergency Push Botton,Speaker…) 277信号收集单元　　　　　　　　　　　　　 Signal Collect Unit　　一种监视器，国内无符合技术标准、型号产品 278烟感及温感器　　　　　　　　　　　　　 Smoke detector　　　　 火灾探测报警用，国内无符合技术标准、型号产品 279安全保护器具　　　　　　　　　　　　　 Safety Protection　　　由阻燃材料制成，于灾害状况下，提供呼吸空气，需 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Equipment　　　　　　　FM认证 280厂务监控系统(不含微机和外设)　　　　　 Facility Management &　整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生产 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Control System　　 281编程工具　　　　　　　　　　　　　　　 Programming Tools　　　用洁净室监控器作网络重新测试和故障确认，整合所 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 有厂务系统进行监控，以确保洁净室稳定生产，国内 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 无符合技术标准、型号产品 282监控器与监控盘体(含监视器)　　　　　　 Controller and Control 整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Panel　　　　　　　　　产，国内无符合技术标准、型号产品 283输入／输出　监控工作站(不含计算机)　　 I/O Control Workstation中控室监控站，监控净化室温度、湿度、压力、流量 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 及警报，整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 稳定生产，国内无符合技术标准、型号产品 284网络设备(不含计算机)　　　　　　　　　 Neworking Device　　　 工业级Etchmet Kingbus网络确保净化室监控网络的 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 稳定，整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 定生产，国内无符合技术标准、型号产品 285数据库应用工具　　　　　　　　　　　　 Database Application　 整合所有厂务系统进行监控，以确保净化室稳定生 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Tools　　　　　　　　　产，国内无符合技术标准、型号产品 286专用测试系统（不含微机和外设）　　　　 Special Instruments　　国内无符合技术标准、型号产品 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　for clean Room　　 287静电监测系统(不含微机和外设)　　　　　　　　　　　　　　　　　国内无符合技术标准、型号产品 附件２：部分集成电路生产企业免税进口集成电路生产设备零、配件商品目录 序号　设备类型　　英文名称（企业参考）　　　　　　　　　　设备零、配件　　　　　　　　　　　　 零、配件税则号列 1　化学机械研　　 CMP　　　　　　　　　　　　　　　研磨（二氧化硅、多晶硅、浅沟槽、铜研磨、　　84799090／84669300 　 磨设备　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　钨研磨）设备配件（化学机械研磨机）　　　　　　 2　　　　　　　　 Defect Inspection/ Back Order　　缺陷测试设备配件(缺陷检测仪)/自动缺陷 　　　　　　　　　For RT 8800 Automatic Ret-　　　 检查仪／缺陷分析仪／缺陷检测仪(排气管接　　 90299000／90319000 　　　　　　　　　icle Inspection System/Mask　　　口)／光罩颗粒／薄膜缺陷检测系统配件 　　　　　　　　　Particle & Pellicle Defection　　 　　　　　　　　　System 3　　　　　　　　 Particle Counter　　　　　　　　 颗粒计数仪配件／粒子计数器配件　　　　　　　90299000／90309000 4　　　　　　　　 Profiler　　　　　　　　　　　　 剖面测量仪配件(高精度表面凸凹检测仪)　　　　90309000 5　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　表面轮廓仪配件　　　　　　　　　　　　　　　90309000 6　　　　　　　　 Wafer Sort　　　　　　　　　　　 晶圆分类机设备配件　　　　　　　　　　　　　84799090 7　扩散设备　　 RTA　　　　　　　　　　　　　　　快速热退火炉－热退火设备配件(快速热处　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 理器)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 85149090 8　　　　　　　　 Sheet Resistance　　　　　　　　 电阻量测仪配件/层电阻测定仪配件/比电阻测　　90309000／90319000 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 定仪配件 9　　　　　　　　 Surface Charge Analyzer　　　　　表面电荷分析仪配件　　　　　　　　　　　　　90279000 10　　　　　　　　VF LPCVD　　　　　　　　　　　　 低压化学气相沉积炉管配件　　　　　　　　　　84859000／84799090／84799090 11　　　　　　　　VF Poly Oxide/Anneal　　　　　　 常压垂直炉管(包括退火、干燥、合金化、 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 膜生长垂直炉管)配件　　　　　　　　　　　　 85149090 12　　　　　　　　Parts for Vertical Furnace　　　 氧化机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　84199090 13　　　　　　　　IPI　　　　　　　　　　　　　　　高温燃烧废气处理设备配件　　　　　　　　　　84199090 14　　　　　　　　Vacuum Pump　　　　　　　　　　　真空泵配件／干泵配件／生产真空泵配件　　　　84149090 15　　　　　　　　Tube Cleaner　　　　　　　　　　 炉管清洗设备配件/炉管清洗机配件/炉芯管清　　84219990/85149090 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 洗机配件 16　　　　　　　　Dry Scruber　　　　 　　　　　　 干式清洗设备配件(清洗机)　　　　　　　　　　84199090 17　　　　　　　　Parts Cleaner HF　　　　　　　　 零件清洗机配件　　　　　　　　　　　　　　　84249090／84219990／85439090 18　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 静态老化炉配件　　　　　　　　　　　　　　　84179090 19　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 数字器件标准老化炉配件　　　　　　　　　　　85149000 20　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 单晶硅外延炉配件　　　　　　　　　　　　　　84179090 2l　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 老化炉配件　　　　　　　　　　　　　　　　　85149000 22　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 扩散炉配件　　　　　　　　　　　　　　　　　85149090 23　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 聚酰胺烘陪炉配件　　　　　　　　　　　　　　85149090 24　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 氮气处理配件　　　　　　　　　　　　　　　　85149090 25　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 椭圆仪配件　　　　　　　　　　　　　　　　　90319000 26　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 扩散用工夹具清洗机/化学气相沉积用工夹具　　 85149090/84799090／84669300 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 清洗/工夹具有机清洗装置配件 27　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 温度控制器配件　　　　　　　　　　　　　　　90329000 28　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 温度分布测定机配件　　　　　　　　　　　　　90319000 29　化学气相沉　　　　　　　　　　　　　　　　　　 除害装置配件　　　　　　　　　　　　　　　　84219990 　　积/薄膜设备 30　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 四乙氧基硅烷(TEOS）供给系统配件　　　　　　 84799090 31　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 磷浓度测定仪配件　　　　　　　　　　　　　　90269000 32　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 尘埃检查仪配件　　　　　　　　　　　　　　　90309000 33　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 粒子监视系统配件　　　　　　　　　　　　　　90309000 34　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 供气系统／气体供给系统配件　　　　　　　　　84799090 35　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 气体精制机(氮气)配件　　　　　　　　　　　　84219990 36　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 涡轮分子泵／低温泵配件　　　　　　　　　　　84139100 37　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 特性检查配件　　　　　　　　　　　　　　　　90319000 38　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 气体泄漏监视系统配件　　　　　　　　　　　　90269000 39　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 气体集中供给装置配件　　　　　　　　　　　　84799090 40　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 CIF3废气吸附装置配件　　　　　　　　　　　　84219990 41　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 聚酰亚胺烘焙配件　　　　　　　　　　　　　　84799090 42薄膜设备　　　　FTIR　　　　　　　　　　　　　　 傅力叶红外线检测仪配件(量测仪)　　　　　　　90319000 43　　　　　　　　PVD　　　　　　　　　　　　　　　物理气相沉积设备(仪)配件　　　　　　　　　　84219990 44　　　　　　　　CVD　　　　　　　　　　　　　　　化学气相沉积设备(仪)配件／化学气相沉积 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 设备／高密度等离子化学气相沉积／亚大气压化　84219990／84799090 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 学气相沉积配件 45　　　　　　　　SMIF ARM　　　　　　　　　　　　 标准机器界面设备配件(晶片上料机)　　　　　　84859000 46　　　　　　　　SMIF　　　　　　　　　　　　　　 小型无尘室配件　　　　　　　　　　　　　　　84219990 47　　　　　　　　Parts Cleaner　　　　　　　　　　工艺配件清洗设备(包括石英管、片架、片 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 盒、晶盒掩模版等)配件(零件清洗机)（清　　　 84249090／84219990 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 洗机) 48　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 擦片机配件/化学机械抛光擦片机配件/浅沟道　　84799090/84669100 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 隔离化学机械研磨擦片机/双面擦片机配件　　 49　　　　　　　　Waste Gas Treatment (In-　　　　 工艺废气处理设备配件(高温燃烧废气处理 　　　　　　　　　cluding Local Scrubbver,　　　　 设备)　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 85149090 　　　　　　　　　Burn Tube, Cool Trap)　 50　　　　　　　　Stress Measurement System　　　　应力测量仪配件／应力测定仪配件　　　　　　　90309000／90269000 　　　　　　　　　Parts　 51　　　　　　　　Sputter　　　　　　　　　　　　　溅射设备配件　　　　　　　　　　　　　　　　84799090 52　　　　　　　　Vapor HF　　　　　　　　　　　　 气相清洁设备配件　　　　　　　　　　　　　　84799090 53　　　　　　　　XRF　　　　　　　　　　　　　　　X射线测量仪配件(x射线晶片分析仪)　　　　　　90309000 54　　　　　　　　Cu Plating　　　　　　　　　　　 铜电镀机配件　　　　　　　　　　　　　　　　84799090 55　　　　　　　　Wafer Transfer System Parts　　　晶盒运输设备配件　　　　　　　　　　　　　　84859000／84799090 56　　　　　　　　Wafer Scrubber System Parts　　　晶片清洗设备(清洗机)(清洁机)(硅片清　　　　 84219990 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 洗机)(清洗过滤机)配件。 57　　　　　　　　Liquid Delivery System Parts　　 自动供液系统(输送机)配件　　　　　　　　　　84859000 58　　　　　　　　Sheet Resistance Measure-　　　　阻抗量测仪器及配件　　　　　　　　　　　　　90309000 　　　　　　　　　ment System and Parts　 59　　　　　　　　ESD TLP System　　　　　　　　　 静电测试系统配件　　　　　　　　　　　　　　90309000 60金属化　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 溅射台配件　　　　　　　　　　　　　　　　　84799090 61　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 段差测定仪配件　　　　　　　　　　　　　　　90319000 62　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 表面反射率计配件　　　　　　　　　　　　　　90319000 63　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 真空烘箱／烘箱／HT烘箱配件　　　　　　　　　85149090／85149000 64　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 固化烘箱／塑封固化烘箱配件　　　　　　　　　84779000 65　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 喷砂机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　84249090 66　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 干燥机／版盒干燥机配件　　　　　　　　　　　85149090 67　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 茧光X线分析装置配件　　　　　　　　　　　　 90319000 68干法蚀刻　　　　 Corner Rounding　　　　　　　　 倒角设备配件　　　　　　　　　　　　　　　　84669300 69　　　　　　　　 Metal /W Etchback Etch　　　　　金属／钨回蚀设备配件　　　　　　　　　　　　84669300 70　　　　　　　　 Microscope /Wafer Loader　　　　光学显微镜／硅片承载器配件　　　　　　　　　90119000 71　　　　　　　　 Etch-Spacer　　　　　　　　　　 衬垫蚀刻设备配件　　　　　　　　　　　　　　84669300 72　　　　　　　　 Opticstation　　　　　　　　　　光学检测设备配件　　　　　　　　　　　　　　90319000 73　　　　　　　　 Etch　　　　　　　　　　　　　　蚀刻设备配件(刻蚀机)／电浆蚀刻机配件／干 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 式蚀刻机(铬膜和半透膜)配件／反应离子刻 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 蚀仪配件／反应离子刻蚀系统配件／背面多晶刻　84669300／84669300 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 蚀机配件／研削用背面刻蚀机／等离子刻蚀机配件 74　　　　　　　　 Plasma Clean　　　　　　　　　　等离子体清洁设备配件　　　　　　　　　　　　84799090 75　　　　　　　　 Resist Strip　　　　　　　　　　去胶机／等离子去胶机／酸去胶机配件　　　　　84219990/／84799090／84669300／ 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 84669300 76　　　　　　　　 SN De-Polymer　　　　　　　　　 高分子聚合物去除设备配件　　　　　　　　　　84799090 77　　　　　　　　 UV Curing -MET　　　　　　　　　紫外线固化(金属)设备配件　　　　　　　　　　84799090 78　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 回刻机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　84669300 79　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 气体泄漏监视装置配件　　　　　　　　　　　　90269000 80　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 工夹具水洗装置配件　　　　　　　　　　　　　84669300 81　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 工夹具干燥装置/化学气相沉积用工夹具干燥　　 85149090／84799090 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 配件　 82 研磨设备　　　 Backside Grinder/Polisher　　　　晶片背研磨机(研磨机)配件　　　　　　　　　　84799090／84669300 83　　　　　　　　Bacside Thickness Measure-　　　 背面侧厚仪配件　　　　　　　　　　　　　　　90269000 　　　　　　　　　ment 84　　　　　　　　Detape　　　　　　　　　　　　　 去膜机配件／卸膜机配件　　　　　　　　　　　84799090／84669300 85　　　　　　　　Tape　　　　　　　　　　　　　　 贴膜机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　84799090／84669300 86 离子注入设备　 Dose Measurement　　　　　　　　 剂量测量设备配件　　　　　　　　　　　　　　90289010 87　　　　　　　　Current IMP　　　　　　　　　　　离子注入设备配件(高速流、高能量)　　　　　　85439010 88　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 离子注入设备配件(中速流)　　　　　　　　　　85439010 89　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 喷砂机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　85439090 90　光罩生产设备　AIMS Metrology System　　　　　　空间影像模拟系统配件　　　　　　　　　　　　90089090 91　　　　　　　　Auto Pellicle Mounting Sys-　　　自动防尘保护膜系统配件　　　　　　　　　　　84799090 　　　　　　　　　tem 92　　　　　　　　CD Metrology System　　　　　　　微距量测系统配件　　　　　　　　　　　　　　90179000 93　　　　　　　　Coater & Hot Plate　　　　　　　 镀膜机配件　　　　　　　　　　　　　　　　　84799090 94　　　　　　　　FIB Reticle Repair System　　　　聚焦离子束光罩修补系统配件（光罩修补系统）　90279000 95　　　　　　　　Film Thickness Measurement　　　 薄膜厚度量测机（测量仪器）/膜厚测定仪/厚　　90309000／90319000 　　　　　　　　　Tool　　　　　　　　　　　　　　 度仪配件　 96　　　　　　　　Laser Beam Writing　　　　　　　 扫描式（步进式、电子束、镭射束）曝光机　　　90109090 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 配件 97　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 镭射束（电子束）曝光机配件（镭射刻读机）　　84799090 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 配件 98　　　　　　　　Laser Reticle Repair System　　　镭射光罩修补系统配件(光罩修补系统)　　　　　90279000 99　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 光罩修补系统配件　　　　　　　　　　　　　　90279000 100　　　　　　　 M & M Visual Inspection　　　　　目检机（包括焊线目检机、自动目检机、自　　　90319000/84799090 　　　　　　　　　Tool　　　　　　　　　　　　　　 动盘装目检机、自动管装目检机）配件 (3)