２００２年８月２４日　财税［２００２］１３６号 海关总署，信息产业部： 　　根据《国务院关于印发鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策的通知》（国 发［２０００］１８号）的有关规定，经国务院批准，现对部分集成电路生产企业进 口自用生产性原材料、消耗品的税收政策通知如下： 　　一、自２０００年７月１日起，对在中国境内设立的投资额超过８０亿元或集成 电路线宽小于０．２５微米的集成电路生产企业进口本通知附件所列自用生产性原材 料、消耗品，免征关税和进口环节增值税。 　　二、由国家计委将符合上述条件的集成电路生产企业名单通知海关总署，海关对 这些企业进口的生产性原材料、消耗品按照本通知附件所列商品目录办理免税手续， 并作好后续监管工作。 　　三、商品目录原则上每年调整一次，由信息产业部会同国家计委、财政部、外经 贸部、海关总署、税务总局等有关部门提出意见，报国务院审批。 　　四、附件所列商品目录包括税则号列和商品名称。海关审核该类进口商品免税时， 如遇商品名称和税则归类与本文规定不一致时，以本文所列的商品名称为准。 　　五、国家计委对符合条件的集成电路生产企业名单、海关总署对享受该政策的年 度实际进口数量应及时抄送财政部。 　　特此通知。 附件：部分集成电路生产企业免税进口自用生产性原材料、消耗品目录 序　性质　　　　类别　　　　　　　　　 序号　税则号列　　　　　　　商品名称　　　　　　　　英文品名(企业参考) 号 1　 一、　树脂　　　树脂　　　　　　　1．01　32149000　 塑封胶　　　　　　　　　　　　　 RESIN/Molding 　　直接　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 Compound/CHIP　COAT 2　 原材　　　　　　导电树脂　　　　　1．02　38249090　 导电胶 3　 料　　胶膜　　　保护膜　　　　　　2．01　39209090　 (硅片／光掩模、光罩)保护膜　　　 (UV/ICROS　TAPE/PELLICLE 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 GALSS) TAPE 4　　　　　　　　　 硅片正面保护膜　　2．02　39199090　 贴膜／(UV感应及非感应背磨／晶背　UV&NON-UV　CURABLE 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　研磨)胶带／胶膜　　　　　　　　　BACKGRINDING TAPE 5　　　　　　　　　　　　　　　　　　 2．03　39199090　 剥离膜／揭膜(塑料制成卷，宽度＞　ADHESIVE　TAPE(plastic) 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　20cm) 6 　　　　　　　　　　　　　　　　　　2．04　39199099　 剥离膜／揭膜(塑料制成卷，宽度＜　ADHESIVE　TAPE(plastic) 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ＝20cm) 7　　　　　　　　　 剥离膜　　　　　　2．05　40169990　 剥离膜／揭膜(橡胶制)　　　　　　 ADHESIVE　TAPE(rubber) 8　　　　 基板　　　基板　　　　　　　3．01　85340090　 基板(未装器件的印刷电路板)　　　 SUBSTRATE 9　　　　　　　　　　　　　　　　　　 3．02　85425000　 线路板　　　　　　　　　　　　　 PC　BOARD 10　　　　支撑带　　支撑带　　　　　　4．01　85425000　 支撑带　　　　　　　　　　　　　 TAB　TAPE 11　　　　硅片　　　硅片(晶片)　　　　5．01　38180019　 硅片／调整片／晶元　　　　　　　 WAFER/DIE 12　　　　　　　　　　　　　　　　　　5．02　38180019　 辅助(挡控)硅片　　　　　　　　　 (Dummy) WAFER 13　　　　　　　　　　　　　　　　　　5．03　28046110　 多晶硅(硅棒) 14　　　　　　　　　　　　　　　　　　5．04　38180090　 硅圈，晶元　　　　　　　　　　　 Wafer 15　　　　特殊气体　高纯度单质气体　　6．01　28011000　 氯气　　　　　　　　　　　　　　 CHLORINE 16　　　　　　　　　高纯度混合气体　　6．02　28042100　 氩气　　　　　　　　　　　　　　 ARGON 17　　　　　　　　　高纯度刻蚀气体　　6．03　28042900　 氙气　　　　　　　　　　　　　　 XENON 18　　　　　　　　　高纯度成膜气体　　6．04　28042900　 氦气　　　　　　　　　　　　　　 HELIUM 19　　　　　　　　　其它高纯度特殊气　6．05　28043000　 氮气　　　　　　　　　　　　　　 NITROGEN 　　　　　　　　　　体 20　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．06　28111990　 溴化氢　　　　　　　　　　　　　 HYDROGEN BROMIDE 21　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．07　28112100　 二氧化碳　　　　　　　　　　　　 CARBON DIOXIDE 22　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．08　28112900　 一氧化碳　　　　　　　　　　　　 CARBON MONOXIDE 23　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．09　28112900　 一氧化二氮(笑气)　　　　　　　　 NITROUS OXIDE 24　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．10　28510090　 二氯(甲)硅烷　　　　　　　　　　 DICHLOROSILANE 25　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．11　28121049　 三氯化硼　 　　　　　　　　　　　BORON TNCHLORIDE 26　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．12　28121049　 三氟化氯　　　　　　　　　　　　 CHLORINE TRIFLUORIDE 27　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．13　28129000　 三氟化硼　　　　　　　　　　　　 BORON　TNFLUORIDE 28　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．14　28121049　 六氟化硫　　　　　　　　　　　　 SULFUR KEXAFLUORIDE 29　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．15　28129000　 三氟化氮　　　　　　　　　　　　 NITROGEN　TRIFLUORIDE 30　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．16　28141000　 氨气　　　　　　　　　　　　　　 AMMONIA 31　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．17　28161900　 六氰化钨　　　　　　　　　　　　 TUNGSTEN　HEXAFLUORIDE 32　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．18　38249090　 硅烷氦气混合气体　　　　　　　　 SILANE／HELIUM 33　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．19　28500000　 (甲)硅烷　　　　　　　　　　　　 MONOSILANE 34　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．20　38249090　 (甲)硅烷氮气混合气体　　　　　　 MONOSILANE／NITROGEN 35　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．21　29033090　 三氟甲烷　　　　　　　　　　　　 TRIFLUOROMETHANE 36　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．22　29033090　 四氟化碳　　　　　　　　　　　　 TETRAFLUOROMETHANE 37　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．23　29033090　 六氟化二碳　　　　　　　　　　　 HEXAFLUOROETHANE 38　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．24　29033090　 二氟甲烷　　　　　　　　　　　　 DIFLUORO　METHANE 39　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．25　29035900　 八氟环丁烷(八氟化四碳)　　　　　 OCTA-FLUOROCYCLOBUTANE(C4F8) 40　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．26　29035900　 八氟环戊烯(八氟化五碳，八氟环戊　OCTA-FLUOROCYCLOPENTEN(C5F8) 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　烷) 41　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．27　38249090　 氪氖混合气体　　　　　　　　　　 KRYPTON／NEON 42　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．28　38249090　 氪氟氖混合气　　　　　　　　　　 KRYPTON／F2／NEON 43　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．29　38249090　 氟氖混合气　　　　　　　　　　　 F2／Ne 44　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．30　38249090　 氧气氩气混合气体　　　　　　　　 OXYGEN／ARGON 45　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．31　38249090　 磷烷氦气混合气体　　　　　　　　 PHOSPINE/HELIUM 46　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．32　38249090　 甲烷氩气混合气体　　　　　　　　 METHANE／ARGON 47　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．33　28041000　 氢气　　　　　　　　　　　　　　 Hydrogen 48　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．34　28044000　 液氧 49　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．35　38249090　 氯化氢氮气混合气体 50　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．36　28499090　 六碳化铬　　　　　　　　　　　　 CrC6 51　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．37　38249090　 蚀刻化学品　　　　　　　　　　　 CR-3ST　CHROMIUM　ETCHANT 52　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．38　29033090　 六氟化二碳　　　　　　　　　　　 C2F4 53　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．39　38249090　 氦／氢混合气　　　　　　　　　　 He/H2 54　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．40　38249090　 磷化氢／氢气　　　　　　　　　　 PH3/H2 55　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．41　38249090　 磷化氢／氦气　　　　　　　　　　 PH3/He 56　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．42　38249090　 硅甲烷／磷化氢混合气体　　　　　 PH3／SiH4 57　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．43　28121049　 六氯化硅　　　　　　　　　　　　 Si2C16 58　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．44　28500000　 六氢化肢　　　　　　　　　　　　 Si2H6 59　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．45　29310000　 三甲基硅烷　　　　　　　　　　　 SiH(CH3)3 60　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．46　38249090　 四氢化硅／氦气　　　　　　　　　 SiH4／HE2 61　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．47　38249090　 乙硼烷／氮气混合气体　　　　　　 Diborane/Nitrogen(B2H6/N2) 62　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．48　38249090　 氟／氮气混合气体　　　　　　　　 Flourine/Nitrogen 63　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．49　38249090　 氦气／氮气混合气体　　　　　　　 Helium/Nitrogen 64　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．50　28061000　 氯化氢　　　　　　　　　　　　　 Hydrogen Chloride 65　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．51　28121049　 四氟化硅　　　　　　　　　　　　 Silion 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 Tetrafluoride(SiF4) 66　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．52　28480000　 磷化氢　　　　　　　　　　　　　 Phosphine 67　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．53　28061000　 氯化氢　　　　　　　　　　　　　 Halocarbon 68　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．54　38249090　 高纯度砷烷／氢气　　　　　　　　 ASH3／H2 69　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．55　38249090　 乙硼烷／氦气　　　　　　　　　　 B2H6／He 70　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．56　28129000　 高纯度氟化硼　　　　　　　　　　 BF3 71　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．57　28500000　 砷化氢　　　　　　　　　　　　　 Arsine 72　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．58　38249090　 氢气氮气混合气　　　　　　　　　 H2／N2 73　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．59　38249090　 磷化氢硅烷混合气　　　　　　　　 PH3／SiH4 74　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．60　29033090　 六氟乙烷　　　　　　　　　　　　 C2F6 75　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．61　29033090　 四氟乙烷　　　　　　　　　　　　 CF4 76　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．62　29033090　 氟甲烷　　　　　　　　　　　　　 CH3F 77　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．63　28111100　 氟化氢　　　　　　　　　　　　　 HF 78　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．64　28500000　 氢化砷　　　　　　　　　　　　　 ASH3 79　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．65　28129000　 氟化硼　　　　　　　　　　　　　 BF3 80　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．66　28261990　 氟化锗　　　　　　　　　　　　　 GeF4 81　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．67　38249090　 氧气氦气(氦气氧气)混合气体　　　 O2／He 82　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．68　38249090　 磷烷氮气混合气　　　　　　　　　 PH3／N2 83　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．69　38249090　 氧气氮气混合气体　　　　　　　　 O2／N2 84　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．70　28112900　 一氧化氮　　　　　　　　　　　　 NO 85　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．71　38249090　 硅烷氩气混合气　　　　　　　　　 SiH4，N5(20％)／Ar 86　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．72　38249090　 乙硼烷氢气混合气　　　　　　　　 B2H6/H2 87　　　　　　　　　　　　　　　　　　6．73　28510090　 二氯二氢硅 88　　　　光刻工艺　显影液　　　　　　7．01　37079090　 显像液，显影液(光刻显像剂)　　　 Developer，Tetramethy1　　Ammonium 　　　　　用化学品　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 Hydroxide Solution，(Devloper Series) 89　　　　　　　　　光刻胶　　　　　　7．02　37071000　 光刻胶　　　　　　　　　　　　　 Photoresist 90　　　　　　　　　防反射薄膜生成液　7．03　38249090　 防反射薄膜生成液　　　　　　　　 CVD成膜用／防反射薄膜成膜用／BARC 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 DUV／BARC 91　　　　　　　　　稀释液　　　　　　7．04　38140000　 稀释液(光刻显像稀释剂)　　　　　 PM Thinner(THINNER series) 92　　　　　　　　　　　　　　　　　　7．05　38140000　 (净化)稀释液　　　　　　　　　　 Cleaning Solution Thinner 93　　　　　　　　　聚酰亚胺原液　　　7．06　39119000　 聚酰亚胺原液(感光性聚酰亚胺)　　 Sumiresin Excel(HP/Photo sensitive)polymide 94　　　　　　　　　增粘剂　　　　　　7．07　29310000　 双(三甲基硅)胺　　　　　　　　　 HexamethyldisilazaneOAP 95　　　　　　　　　　　　　　　　　　7．08　29141900　 甲基戊基酮　　　　　　　　　　　 MethylAmylKeton 96　　　　　　　　　　　　　　　　　　7．09　29337900　 N-甲基-2-吡咯烷酮　　　　　　 N-Methyl-2-Pyrolidone 97　　　　　　　　　　　　　　　　　　7．10　34059000　 氧化铝研磨浆　　　　　　　　　　 Slurry 98　　　　　　　　　　　　　　　　　　7．11　37013090　 光刻工艺专用高等级感光胶片 99　　　　抛光剂　　抛光剂　　　　　　8．01　34059000　 研磨剂　　　　　　　　　　　　　 PLANERLITE，Semi-Sperse Aqueous 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　 Dispersions，DPPASTE，Aqueous 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 Dispersions/PLANERLITE 100　　　　　　　　　　　　　　　　　 8．02　34029000　 用于化学机械研磨(CMP)表面活性　　CMP　SURFACTANT 101　　　　　　　　　　　　　　　　　 8．03　34059000　 CMP研磨粒子　　　　　　　　　　　CMPabstrasive particle 102　　　　　　　　　　　　　　　　　 8．04　34059000　 二氧化铈研磨剂　　　　　　　　　 SLURRY HS-DLS 103　　　　　　　　　　　　　　　　　 8．05　32074000　 钝化玻璃粉 104　　　 掺杂源　　固态掺杂源　　　　9．01　28047090　 (高纯度)红磷　　　　　　　　　　 High Purity Red Phosphorus 105　　　　　　　　 气态掺杂源　　　　9．02　28048000　 (高纯度金属)砷　　　　　　　　　 ArsenicMetal 106　　　　　　　　 液态掺杂源　　　　9．03　28129000　 硼源 107　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．04　38249090　 锑扩散乳胶源 108　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．05　28258000　 三氧化二锑 109　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．06　28121020　 磷酰氯(三氯氧磷)　　　　　　　　 Phosphorus Oxychloride 110　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．07　28273990　 高纯度三氯化铟　　　　　　　　　 INDIUM　TRICHLORIDE 111　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．08　28261900　 四氟化锗　　　　　　　　　　　　 GeF4 112　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．09　28261900　 三氟化铟　　　　　　　　　　　　 InF3 113　　　 刻蚀液　　氟系刻蚀液　　　　10．01 38249090　 氢氟酸缓冲液／氢氟酸混合液　　　 BufferedHydrogenFluoride 114　　　　　　　　 剥离液　　　　　　10．02 38249090　 氢氟酸硝酸混合液　　　　　　　　 FilmEtchPoly 115　　　　　　　　 磷酸　　　　　　　10．03 28111100　 氢氟酸　　　　　　　　　　　　　 HydrofluoricAcide(HF) 116　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．04 38249090　 剥离液　　　　　　　　　　　　　 Resist Strip，IC461 117　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．05 38249090　 氧化物刻蚀缓冲剂　　　　　　　　 BUFFERED OXIDE ETCH 118　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．06 38249090　 氟化氢氟化氨混合液　　　　　　　 BOE ETCH 119　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．07 29053100　 乙二醇　　　　　　　　　　　　　 ETHYLENE GLYCOL 120　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．08 38249090　 乙二醇＋氟化胺　　　　　　　　　 EG＋NH4F 121　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．09 29310000　 六甲基乙硅烷　　　　　　　　　　 HMDS／HD POLYMIDE 122　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．10 38249090　 铝刻蚀(液)／M2混合酸　　　　　　 DAE　　DEFRECKLING　ALUMIMUN 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ETCH／M2 Acid／A1 Etch 123　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．11 37071000　 感光乳液 124　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．12 38249090　 酸，碱度调整添加剂　　　　　　　 ACID＆Alkali　PH adjuster additives 125　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．13 34021900　 BTA／EDA化学品　　　　　　　　　 BTA，EP GRADE 1HBENJO TRIAJOLE 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 100G／BT 126　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．14 28332500　 含水硫酸铜　　　　　　　　　　　 CuSO4．5H20 127　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．15 28273500　 氯化镍　　　　　　　　　　　　　 NICKLE CHLORIDE 128　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．16 28309090　 硫化镍　　　　　　　　　　　　　 NICKELSULFATE 129　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．17 38249090　 无尘室用原位氧化刻蚀剂　　　　　 NOE(NATIVE OXIDE ETCHING) 130　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．18 29171110　 草酸　　　　　　　　　　　　　　 CIREX　FOR　CMP／COOH　OXALIC 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ACID 131　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．19 28061000　 盐酸　　　　　　　　　　　　　　 HYDROCHLORIC ACID(HC1) 132　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．20 28261000　 氟酸铵　　　　　　　　　　　　　 AMMONIUM FLUORIDE 40％ 133　　　　　　　　　　　　　　　　　 10．21 29041000　 甲烷磺酸(甲基磺酸)　　　　　　　 METHANESULFONIC ACID 134　　　 清洗液　　乙醇　　　　　　　11．01 22071000　 乙醇(纯度等级高于PPM)　　　　　　Ethanol 135　　　　　　　　 硫酸　　　　　　　11．02 28070000.10 硫酸(纯度等级高于PPM)　　　 　　Sulfuric　Acid 136　　　　　　　　 硝酸　　　　　　　11．03 28080000　 硝酸(纯度等级高于PPM)　　　　　　Nitric Acid 137　　　　　　　　 磷酸　　　　　　　11．04 28092010　 磷酸(纯度等级高于PPM)　　　　　　Phosphoric Acid 138　　　　　　　　 氨水　　　　　　　11．05 28142000　 氨水(纯度等级高于PPM)　　　　　　Super　Pure 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 Ammonium HydroxideElm／NH3．H20(AR) 139　　　　　　　　 过氧化氢　　　　　11．06 28470000　 过氧化氢(双氧水)(纯度等级高于　　HydrogenPeroxide 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　PPM) 140　　　　　　　　 异丙醇　　　　　　11．07 29051220　 异丙醇(纯度等级高于PPM)　　　　　IsopropylAlcohl 141　　　　　　　　 盐酸　　　　　　　11．08 28152000　 氢氧化钾(纯度等级高于PPM)　　　　POTASSIUM　HYDROXIDE SOLUTION 142　　　　　　　　 高纯度混合酸　　　11．09 28261900　 氟化钾(纯度等级高于PPM)　　　　　POTASSIUM　FLUORIDE　KF 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　11．10 38249090　 混合酸(1．M2 etching即硝酸＋醋酸 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　＋氢氟酸；2．硝酸＋醋酸＋磷酸；3． 143　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 氢氟酸＋氟化铵)(纯度等级高于 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　PPM) 144　　　　　　　　　　　　　　　　　 11．11 28142000　 氢氧化铵(纯度等级高于PPM)　　　　AMMONIUM　HYDROXIDE　PPB 145　　　　　　　　　　　　　　　　　 11．12 38220090　 钼酸盐试剂(纯度等级高于PPM)　　　MOLYBDATE 3 REAGENT 146　　　　　　　　　　　　　　　　　 11．13 29051990　 异丙基乙醇(纯度等级高于PPM)　　　ISOPROPYL　ALCOHOL　PPB 147　　　　　　　　　　　　　　　　　 11．14 34029000　 清洗溶液(磺酸铵溶液)(纯度等级　　WRS-200(surfactant) 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　高于PPM) 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　11．15 29189000　 晶片清洗溶剂(1－甲氧基丙基乙酸　 RINSE FOR POLYMIDE 148　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 酯)(纯度等级高于PPM) 149　　　　　　　　　　　　　　　　　 11．16 38249090　 光刻胶去除剂(纯度等级高于PPM)　　STRIPPER FOR PHOTORESIST 150　　　　　　　　　　　　　　　　　 11．17 29189000　 甲氧基乙酸丙脂(纯度等级高于　　　RER 600 PPB 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　PPM) 151　　　　　　　　　　　　　　　　　 11．18 29141100　 丙酮(纯度等级高于PPM)　　　　　　Acetone 152　　　 电镀液　　电镀原液　　　　　12．01 11081900　 可溶性淀粉　　　　　　　　　　　 SOLUABLE　STARCH 153　　　　　　　　 添加剂　　　　　　12．02 28012000　 碘　　　　　　　　　　　　　　　 IODINE 154　　　　　　　　 退锡剂　　　　　　12．03 38220090　 标准硼溶液　　　　　　　　　　　 BORON　STANDARD　SOLUTION 155　　　　　　　　 其它调整剂　　　　12．04 38249090　 变色硅胶　　　　　　　　　　　　 SILICON　GEL 156　　　　　　　　 电镀分析试剂　　　12．05 29041000　 无氟酸／无氟铅／无氟锡　　　　　 NF ACID／NF LEAD／NF TIN 157　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．06 28080000　 发烟硝酸　　　　　　　　　　　　 FUMING　NITRIC 158　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．07 38249090　 HC酸液　　　　　　　　　　　　　 SOLDERON　ACID HC 159　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．08 28151100　 氢氧化钠　　　　　　　　　　　　 NAOH 160　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．09 38249090　 RD浓液　　　　　　　　　　　　　 SOLDERON RD 161　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．10 38220090　 铅标准溶液　　　　　　　　　　　 STANDARD LEAD CONC 100ML／B 162　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．11 38249090　 缓冲氧化物　　　　　　　　　　　 BUFFERED　OXIDE　ETCHANT 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 10：1W／OHS 163　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．12 28261100　 氟化氨　　　　　　　　　　　　　 NH4F 164　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．13 28276000　 碘化钾　　　　　　　　　　　　　 POTASSIUM　IODIDE　500ML／BTL 165　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．14 25010020　 氯化钠(精制盐)　　　　　　　　　 NACL 50KG／BTL(AR) 166　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．15 28323000　 硫代硫酸钠　　　　　　　　　　　 Na2S203　500ML／BTL 167　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．16 38220090　 铜标准溶液　　　　　　　　　　　 STANDARD CUPPER CONC 100ML／BTL 168　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．17 38220090　 铁标准溶液　　　　　　　　　　　 SODIUM IRON CONE 100ML／BTL 169　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．18 28362000　 无水碳酸钠　　　　　　　　　　　 SODIUM　CDRBONDTE　500G／BTL 170　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．19 29054500　 无水甘油　　　　　　　　　　　　 GLYCERINE 171　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．20 29072210　 对苯二酚　　　　　　　　　　　　 HYDROQUINONE 172　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．21 38220090　 酚酞试剂　　　　　　　　　　　　 PHENOLPHAHALEIN(5．5／25G)50ML／BTL 173　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．22 38249090　 退锡剂　　　　　　　　　　　　　 TL-9010 174　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．23 29152190　 乙酸　　　　　　　　　　　　　　 CH3COOH 175　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．24 29041000　 甲磺酸　　　　　　　　　　　　　 NF ACID 30KG／CAN 176　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．25 38220090　 硬度试剂／硬度滴定液　　　　　　 HARDRESS REAGENT／TITRART 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 SOLUTION HARDRESS 177　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．26 38249090　 DPD余氯试剂／氟化电子回流液　　　DPD TOTAL CALORINE REAGENT 178　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．27 34039900　 切割冷却液　　　　　　　　　　　 CUTTING FLUID 179　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．28 34029000　 表面活性剂制品　　　　　　　　　 MODIFIER／72BC 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ADDITIVE／BUFFERED ETCH 180　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．29 38249090　 NaOH／Na 3PO4／Na 2CO3混合液　　 ENBOND CA-S 181　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．30 38249090　 PH调节剂　　　　　　　　　　　　 PH　ADJUSTOR 182　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．31 83119000　 锡铅球(锡占80％)　　　　　　　　 SOLDER 183　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．32 38109000　 助焊剂　　　　　　　　　　　　　 ALPHAR TYPE 100＃ 184　　　 成膜专用　绝缘膜生成剂无机　13．01 38249090　 绝缘膜生成剂　　　　　　　　　　 SumikaFilm 　　　　　化学品　　硅成膜剂 185　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．02 28273990　 四氯化钛　　　　　　　　　　　　 TiC14 186　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．03 29190000　 磷酸三乙酯　　　　　　　　　　　 TEPO 187　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．04 29190000　 磷酸三甲酯　　　　　　　　　　　 Trimethyl Phosphate 188　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．05 29190000　 硼酸三乙酯　　　　　　　　　　　 TEB 189　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．06 29190000　 硼酸三甲酯　　　　　　　　　　　 Trimethyl Borate 190　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．07 29310000　 四乙氧基硅烷＋氦气(氦气为保护　　Tetraethoxysilane TEOS 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　气) 191　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．08 29310000　 四乙氧基硅烷＋氮气(氮气为保护 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　气) 192　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．09 29153300　 醋酸丁酯　　　　　　　　　　　　 Butyl Acetate 193　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．10 29181100　 乳酸乙酯　　　　　　　　　　　　 乳酸Ethyl 194　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．11 29310000　 十二甲基硅醚　　　　　　　　　　 DODECAMETHYLCYCLOHEXASILOXA 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 NE 195　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．12 29310000　 十甲基硅醚　　　　　　　　　　　 DECAMETHYLCYCLOPENTASILOXANE 196　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．13 29310000　 四甲基硅醚　　　　　　　　　　　 HEXAMETHYLDISILOXANE 197　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．14 29310000　 六甲基硅醚　　　　　　　　　　　 HEXAMETHYLCYCLOTRISILOXANE 198　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．15 29310000　 八甲基硅醚　　　　　　　　　　　 OCTAMETHYLCYCLOTETRASILOXANE 199　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．16 29310000　 二甲基硅醇　　　　　　　　　　　 TRIMETHYLSILANOL 200　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．17 29032900　 偏氯乙烯　　　　　　　　　　　　 TRANS1-2-DICHLOROETH YLENE 201　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．18 29310000　 四－二钾胺钛　　　　　　　　　　 TDMAT，Tetrakisdimethylamine Titanium 202　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．19 29310000　 四氧乙基硅　　　　　　　　　　　 TEOS 203　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．20 38249090　 光罩蚀刻机清洗剂(无机酸混合物)　 AP／Mineral Acid 204　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．21 38249090　 蚀刻化学药品／铬蚀刻液　　　　　 CR／chromium etching 205　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．22 34029000　 表面活性剂制品　　　　　　　　　 TK 206　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．23 29310000　 三乙基硼烷　　　　　　　　　　　 TEB 207　　　　　　　　　　　　　　　　　 13．24 39049000　 六氟代聚丙烯　　　　　　　　　　 COOLANT Galden(R) HT200 208　　　 掩膜版　　掩膜版　　　　　　14．01 70200019　 掩膜版　　　　　　　　　　　　　 EXPOSED ＆ DEVELOPED PHOTO MASK 209　　　　　　　　 光刻版　　　　　　14．02 70200019　 光刻模板　　　　　　　　　　　　 Mask， 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 Mask substrate material 210　　　 靶材　　　靶材　　　　　　　15．01 74199990　 铜靶材(＞99％)　　　　　　　　　 Ultra High Purity Sputterring Target 211　　　　　　　　　　　　　　　　　 15．02 76169990　 铝靶材(＞99％)　　　　　　　　　 Ultra High Purity Sputterring Target 212　　　　　　　　　　　　　　　　　 15．03 81019900　 钨金属靶(＞99％)　　　　　　　　 Target(tungsten) 213　　　　　　　　　　　　　　　　　 15．04 76169990　 铝－铜靶(Al＞99％，Cu≤1％)　　　TARGET Al-Cu 214　　　　　　　　　　　　　　　　　 15．05 76169990　 铝－硅靶(Al＞99％，Si≤1％)　　　TARGET Al-Si 215　　　　　　　　　　　　　　　　　 15．06 76169990　 铝－硅－铜靶(Al＞98％，Si＜1％， TARGET Al-Si-Cu 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Cu＜1％＝ 216　　　　　　　　　　　　　　　　　 15．07 81059000　 钴靶(＞99％)　　　　　　　　　　 TARGET Co 217　　　　　　　　　　　　　　　　　 15．08 75089090　 镍靶(＞99％)　　　　　　　　　　 TARGET Ni 218　　　　　　　　　　　　　　　　　 15．09 81039000　 钽靶(＞99％)　　　　　　　　　　 TARGET Ta 219　　　　　　　　　　　　　　　　　 15．10 81089090　 钛靶(Ti＞99％)　　　　　　　　　 TARGET Ti 220　　　 金线　　　金线　　　　　　　16．01 71081300　 金线(99．99％)　　　　　　　　　 GOLD WIRE 221　　　 引线框架　引线框架　　　　　17．01 85429000　 引线框架、支架　　　　　　　　　 LEAD FRAME 222　　　 银浆　　　银浆　　　　　　　18．01 38249090　 银浆　　　　　　　　　　　　　　 AG　PASTE 223　二、 O型圈　　 O型圈　　　　　　 1．01　40169910　 O型圈　　　　　　　　　　　　　　Oring 224　间接 组装专用　组装专用吸头　　　2．01　39269010　 吸头　　　　　　　　　　　　　　 vaccum　TIP 　　 生产 吸头 225　材料　　　　　　　　　　　　　　 2．02　39269010　 真空吸杆　　　　　　　　　　　　 Vaccum　Pick-up System 226　　　　　　　　　　　　　　　　　 2．03　40169910　 橡胶吸嘴　　　　　　　　　　　　 SPONGE VACUUM CUPS 227　　　 承载托盘　 承载托盘　　　　 3．01　39269090　 承载带／覆盖带／托盘(常温、高温) CARRIER TAPE／TRAY 228　　　 研磨垫子　 研磨垫子　　　　 4．01　68042290　 研磨垫子　　　　　　　　　　　　 Polishing pad／Backing Pad 229　　　　　　　　　　　　　　　　　 4．02　68042100　 化学机械研磨钻石盘　　　　　　　 Diamond Disks for CMP 230　　　　　　　　　　　　　　　　　 4．03　39269010　 化学机械研磨胶垫中间软垫(塑料)　 insert film(plastic) 231　　　　　　　　　　　　　　　　　 4．04　40169310　 化学机械研磨胶垫中间软垫(橡胶)　 insert film(rubber) 232　　　　　　　　　　　　　　　　　 4．05　39269010　 化学机械研磨头内垫(橡胶制)　　　 membrance 233　　　 防静电专　 防静电专用内包装 5．01　39209990　 包装袋 234　　　 用内包装　 材料　　　　　　 5．02　39231000　 硅片盒／晶舟盒　　　　　　　　　 CASSETTE 235　　　 材料　　　　　　　　　　　　5．03　48239090　 硅片衬纸 236　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．04　40161010　 海绵(衬垫) 237　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．05　38220010　 指示纸 238　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．06　38249090　 干燥剂 239　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．07　76129090　 防潮铝袋 240　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．08　39269090　 缓冲垫 241　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．09　39235000　 防静电内包装紧固黑塞　　　　　　 BLACK FORM 242　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．10　39269090　 防静电泡棉　　　　　　　　　　　 POLLY　PINK 243　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．11　39231000　 防静电内包装盒　　　　　　　　　 INTER CARTON 244　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．12　39172900　 材料管　　　　　　　　　　　　　 TUBE 245　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．13　39235000　 防静电内包装紧固白塞　　　　　　 CLEAR PLUG 246　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．14　76129090　 真空包装袋(铝制)　　　　　　　　 ALUMMIUM BAG 247　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．15　38220010　 湿度指示卡　　　　　　　　　　　 H-I-CARD 248　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．16　58061090　 魔带　　　　　　　　　　　　　　 VELSO STRAP(50EA／BOX) 249　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．17　39269010　 塑料吸收棉 250　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．18　40161010　 橡胶吸收棉　　　　　　　　　　　 CHEMICAL SERBENT PADS 251　　　　　　　　　　　　　　　　　 5．19　39191099　 防(抗)静电胶带　　　　　　　　　 ANTI-ACID TAPE 252　　　 生产线产　　　　　　　　　　6．01　39209990　 高温(低温)隔离带　　　　　　　　 HIGH TEMP SEPERATOR 253　　　 品传输用　　　　　　　　　　6．02　39269010　 吸头(硅橡胶)　　　　　　　　　　 SARCON 45F SILICON RUBBER 　　　　　品 254　　　 硅片清洗　　　　　　　　　　7．01　96035091　 化学机械研磨胶垫处理刷子　　　　 PVA BRUSH 　　　　　专用刷 255　　　 真空泵油　　　　　　　　　　8．01　34031900　 真空泵油 256　　　 分析用试　 分析用试剂　　　 9．01　28363000　 碳酸氢钠　　　　　　　　　　　　 SODIUM HYDROGEN CARBONATE 　　　　　剂 257　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．02　29152190　 醋酸　　　　　　　　　　　　　　 ACETIC　ACID 258　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．03　29189000　 丙二醇甲醚已酸酯　　　　　　　　 PROPYLENE GLYCOL METHYL ETHER 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ACETATE 259　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．04　38220090　 甲基橙试剂　　　　　　　　　　　 METHYL ORANGE 260　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．05　38249090　 冰醋酸混合液　　　　　　　　　　 NSG-ACETIC ACID MIXED SOLUTION 261　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．06　39249090　 异丙醇乙二醇混合液　　　　　　　 ORGANO FLUX(3355-11) 262　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．07　28131000　 二硫化碳　　　　　　　　　　　　 CARBON DISULFIDE 263　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．08　38220090　 柠檬酸试剂　　　　　　　　　　　 CITRIC　ACID REAGENT 264　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．09　29221100　 单乙醇胺　　　　　　　　　　　　 MONO ETHANOLAMINE 265　　　　　　　　　　　　　　　　　 9．10　38220090　 氨基酸试剂　　　　　　　　　　　 AMINO ACID REAGENT 266　　　 交换树脂　 交换树脂　　　　 10．01 39140000　 离子交换树脂 267　　　 过滤材料　 过滤材料　　　　 11．01 38021000　 活性炭 268　　　　　　　　　　　　　　　　　 11．02 38159000　 触媒 269　　　　　　　　　　　　　　　　　 11．03 63079000　 过滤袋(纺织材料制)　　　　　　　 FITLER　BAGS 270　　　　　　　　　　　　　　　　　 11．04 39232900　 阳极袋(PVC)　　　　　　　　　　　ANODE BAGS 18*2*1．5 271　　　　　　　　　　　　　　　　　 11．05 39209990　 反渗透膜　　　　　　　　　　　　 RO membrance for clean room 272　　　 过滤芯　　 过滤芯　　　　　 12．01 84212990　 (液体)过渡芯　　　　　　　　　　 FILTER 273　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．02 84213990　 (气体)过渡芯　　　　　　　　　　 FILTER 274　　　　　　　　　　　　　　　　　 12．03 84213990　 其他过滤芯　　　　　　　　　　　 FILTER 275　　　 高分子材　 脱模剂　　　　　 13．01 34039900　 脱模剂　　　　　　　　　　　　　 MOLD WAX RELEASE 909C 　　　　　料 276　　　 超洁净分　 超洁净分析物料　 14．01 39232100　 无菌取样袋(PE)　　　　　　　　　 DIW Sample Bag 　　　　　析物料 277　　　　　　　　　　　　　　　　　 14．02 39269090　 无菌塑料针管　　　　　　　　　　 Plastic Syringe 278　　　　　　　　　　　　　　　　　 14．03 39233000　 无菌采样容器(杯瓶) 279　　　　　　　　　　　　　　　　　 14．04 38210000　 超纯水细菌培养基　　　　　　　　 m-Heterotrophic Plate count medium 280　　　 石英制品　 扩散用／化学气相 15．01 70200019　 生产用石英制品 281　　　　　　　　　沉积用／湿法工艺 15．02 68043090　 打磨石　　　　　　　　　　　　　 LAPPING PLATE FOR SHINKAWA IL-20 285　　　　　　　　　用／干法工艺用石 15．03 69149000　 瓷嘴　　　　　　　　　　　　　　 CABILIARY 　　　　　　　　　　 英制品 283　　　 生产线产　　　　　　　　　　16．01 82032000　 晶片镊　　　　　　　　　　　　　 TWEEZER，WAFER 284　　　 品传输用　　　　　　　　　　16．02 84283990　 晶片传送器　　　　　　　　　　　 TRANSFER，HORIZONTAL，WAFER 　　　　　品 285　　　 光罩盒　　 光罩盒　　　　　 17．01 39269090　 光罩盒　　　　　　　　　　　　　 Reticle／Mask POD 286　　　 探针／探针　　　　　　　　　18．01 84799090　 探针卡／探针　　　　　　　　　　 prober card 287　　　 卡　　　　　　　　　　　　　18．02 85444990　 探针连接线(电线)　　　　　　　　 prober card cable 　　　　　探针卡清　 探针卡清洗片／针 19．01 68052000　 (探针卡／针尖)清洗片 288　　　 洗片／针尖 尖清洗片 　　　　　清洗片 289　　　 洁净室专　 Class100及以下洁 20．01 70193900　 无(防)尘网(玻璃纤维，铝框架) 　　　　　用框架　　 净室专用柜架 290　　　 专用记录　 Class100及以下专 20．02 39262000　 无(防)尘鞋套(PVC制) 　　　　　标识用品　 用记录标识用品 291　　　 超净保护　 Class100及以下超 20．03 63071000　 无(防)尘洁净布 　　　　　用品　　　 净保护用品 292　　　 洁净室清　 Class100及以下洁 20．04 63079000　 无纺布防尘鞋套 　　　　　洁用品　　 净室清洁用品 293　　　 防静电用　 Class100及以下防 20．05 62101090　 (无纺布)防尘服 　　　　　品　　　　 静电用品 294　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．06 62113290　 (棉)防尘服、无尘服 295　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．07 63079000　 无纺布口罩 296　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．08 64039900　 无(防)尘鞋(皮革制) 297　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．09 63079000　 无纺布头套(100级) 298　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．10 62114300　 超净化无尘衣(100级)　　　　　　　Clean Room Suit／Garment 299　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．11 40151900　 橡胶手套 300　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．12 62160000　 无纺布手套 301　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．13 39262000　 塑料手套　　　　　　　　　　　　 ANTI-ACID Glove 302　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．14 68129000　 耐高温手套(石棉) 303　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．15 84213990　 气体滤毒盒 304　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．16 39199090　 塑料制粘尘垫　　　　　　　　　　 SCOUMNG 305　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．17 63071000　 吸液棉／无尘室吸液布 306　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．18 32159090　 打点墨水 307　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．19 85438990　 电子标签　　　　　　　　　　　　 Smart tag 308　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．20 39199090　 洁净室专用薄膜(有粘性)　　　　　 BLUE TACKY MAT 309　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．21 39204300　 洁净室专用PVC薄膜(有粘性)　　　　Plastic sheets 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　20．22 48201000　 洁净室用笔记本／标签／无尘笔记本 Clean room 310　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　notebook／Lable ／Clipboard，Clean room，Kit 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 W／Paper 311　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．23 62160000　 棉线五指手套　　　　　　　　　　 Full Finger glove liner Small 312　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．24 62171090　 防尘腰带 313　　　　　　　　　　　　　　　　　 20．25 48235900　 无尘纸　　　　　　　　　　　　　 clean paper 314　　　 洁净室专　 Class100及以下洁 21．01 85392999　 专用离子回流灯 　　　　　用灯管　　 净室专用灯管 315　　　　　　　　　　　　　　　　　 21．02 85393290　 专用氙灯　　　　　　　　　　　　 Xeom Lamp 316　　　　　　　　　　　　　　　　　 21．03 85393290　 专用卤素灯　　　　　　　　　　　 Halogen Lamp 317　　　　　　　　　　　　　　　　　 21．04 85393290　 专用汞灯　　　　　　　　　　　　 Mercury Lamp 318　　　　　　　　　　　　　　　　　 21．05 85393990　 专用黄灯管　　　　　　　　　　　 Fluoresent Lamp 319　　　　　　　　　　　　　　　　　 21．06 85393990　 专用UV灯　　　　　　　　　　　　 UV　Lamp 320　　　　　　　　　　　　　　　　　 21．07 85393290　 专用金属卤化物灯 321　　　　　　　　　　　　　　　　　 21．08 85394900　 专用紫外线灯 (3)